Universal-200 Smart是根据市场需求，采用Universal-300 Plus的成熟经验设计，拥有完全自主知识产权的新型8英寸CMP设备，集成多种终点检测技术，4个抛光单元和单套清洗单元，具备技术水平高、产量高、性能稳定、多工艺灵活组合等优点，可以满足Oxide /STI/Poly/Cu/W CMP等各种工艺需求。